Litografik yapılar
Litografi, entegre devrelerin ve diğer ürünlerin üretiminde kullanılan temel yöntemlerden biridir. Mesafeler, yarıçaplar, açılar ile form ve konum sapmaları ölçülür. Ölçüm belirsizliği gereksinimleri orta ile yüksek aralıktadır. Ölçümler genellikle süreç sırasında yapıldığından ölçüm süresi gereksinimleri yüksektir.
