Wafer
İş parçasıWafer
Entegre devrelere (IC) temel oluşturan yuvarlak silisyum diskler
Wafer
En önemli geometrik özellik, wafer yüzeyinin tamamının düzlüğüdür.
Wafer'lar ayrıca kalıntılar ve yüzey hasarları açısından da test edilir. Proses takibi için ölçüm hızına yönelik gereksinimler zaman zaman çok yüksektir.
Wafer için ölçüm makineleri
ScopeCheck® S
Küçük iş parçalarının ölçümü için multisensörlü koordinat ölçüm makinesi
Sensör: Werth Görüntü İşleme BV, Chromatic Focus Point Sensor CFP, Chromatic Focus Zoom CFZAksesuarlar: Werth Zoom, Sabit büyütmeli telesentrik objektifler, Değiştirici geri çekme ekseniİncele
ScopeCheck® FB
Düşük ölçüm belirsizliğiyle ekonomik üretim takibi için sabit köprülü rijit tasarım
Sensör: Werth Görüntü İşleme BV, Chromatic Focus Point Sensor CFP, Chromatic Focus Zoom CFZ, Chromatic Focus Line sensor CFLAksesuarlar: Werth Zoom, Sabit büyütmeli telesentrik objektifler, Değiştirici geri çekme ekseniİncele
VideoCheck® S
Küçük iş parçalarının ölçümü için hassas multisensörlü koordinat ölçüm makinesi
Sensör: Werth Görüntü İşleme BV, Chromatic Focus Point Sensor CFP, Chromatic Focus Zoom CFZ, Chromatic Focus Line sensor CFL, Nano Focus Probe NFPAksesuarlar: Werth Zoom, Sabit büyütmeli telesentrik objektifler, Değiştirici geri çekme ekseniİncele
VideoCheck® FB
Büyük iş parçalarının ölçümü için, talep üzerine birden fazla Z ekseniyle sunulan hassas multisensörlü koordinat ölçüm makinesi
Sensör: Werth Görüntü İşleme BV, Chromatic Focus Point Sensor CFP, Chromatic Focus Zoom CFZ, Chromatic Focus Line sensor CFL, Nano Focus Probe NFPAksesuarlar: Werth Zoom, Sabit büyütmeli telesentrik objektifler, Değiştirici geri çekme ekseniİncele
VideoCheck® HA
Büyük iş parçalarının ölçümü için, talep üzerine birden fazla Z ekseniyle sunulan yüksek doğruluklu multisensörlü koordinat ölçüm makinesi
Sensör: Werth Görüntü İşleme BV, Chromatic Focus Point Sensor CFP, Chromatic Focus Zoom CFZ, Chromatic Focus Line sensor CFL, Nano Focus Probe NFPAksesuarlar: Werth Zoom, Sabit büyütmeli telesentrik objektifler, Değiştirici geri çekme ekseniİncele
VideoCheck® UA
Ultra hassas multisensörlü koordinat ölçüm makinesi
Sensör: Werth Görüntü İşleme BV, Chromatic Focus Point Sensor CFP, Chromatic Focus Zoom CFZ, Nano Focus Probe NFPAksesuarlar: Werth Zoom, Sabit büyütmeli telesentrik objektifler, Değiştirici geri çekme ekseniİncele