Nano Focus Probe NFP
Nano Focus Probe NFP
Yüksek doğruluklu konfokal sensör
Nano Focus Probe NFPYansıtma özelliğinden bağımsız, yüksek doğruluklu topografi ölçümleri
Nano Focus Probe ile iş parçası yüzeyi 3D nokta bulutu olarak yakalanabilir ve mikro yapıların boyutu, formu, konumu ve pürüzlülüğü değerlendirilebilir. Saçılan ışığın bastırılması, yansıtıcı yüzeylerde bile mikrometre altı aralıkta problama hatalarıyla topografinin güvenilir 3D ölçümünü mümkün kılar. Konfokal optik sensör, büyük eğim açılarına sahip dik yanaklarda da iyi sonuçlar verir.
Diğer avantajlar
- Farklı objektifler, sensörlerin ilgili göreve uyarlanmasını sağlar
- Sensör, koordinat ölçüm makinesinin tüm ölçüm hacminde kullanılabilir ve ölçüm sonuçları aynı koordinat sisteminde birleştirilebilir
- Birbirine komşu birden fazla kısmi nokta bulutundan, neredeyse hiç doğruluk kaybı olmadan bütün bir yüzey hesaplanabilir
Nano Focus Probe NFP
- Sensör prensibi
Optik-eksenel (konfokal mikroskopi)
- Ölçüm aralığı
Entegre Z ekseniyle “görüntü içinde” ölçüm 250 µm
- Doğruluk
İzin verilen problama hatası 0,15 µm'ye kadar
- İşleyiş
Prob kafası a) aydınlatma, b) kamera, c) iğne deliği diyaframı ve d) görüntüleme optiği ile iş parçasına e) göre hareket ettirildiğinde, ışık noktalarının f), g) yoğunluğu odak dışına çıkma nedeniyle değişir. Odak dışı ışık noktalarının f) üst üste binmesi, büyük aralıklar g) kullanılarak önlenir. Yoğunluk eğrisine dayanarak iş parçası yüzeyindeki çok sayıda ölçüm noktası eş zamanlı olarak belirlenir
Uyumlu sensör prensipleri
Nano Focus Probe NFP için diğer donanımlar
Optik, prob, bilgisayarlı tomografi ve multisensör sistemli koordinat ölçüm makineleri için evrensel ölçüm yazılımı
Çok çeşitli sensörlere sahip makinelerin kullanımı ile hacim verilerinin ve nokta bulutlarının değerlendirilmesi ...
